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MKS RPS AX7695
MKS RPS AX7695 模块是一款由MKS Instruments公司生产的高频远程等离子体源，
主要用于半导体制造过程中的等离子体处理。它通过产生高密度、高纯度的等离子体，实现对硅片等材料的刻蚀、沉积、清洗等工艺。
AX7695 模块属于MKS Instruments公司的R*evolution III系列产品，具有集成度高、性能稳定、易于操作等特点。它采用先进的射频技术，能够产生高密度、均匀的等离子体，并通过精确控制气体流量和射频功率，实现对等离子体参数的精确调节。参数名称参数值等离子体类型射频等离子体频率13.56 MHz功率可调气体流量可调工作压力可调冷却方式水冷
