Description
产品名称：LAM 810-001489-016
产品描述：
LAM 810-001489-016 是一款用于 Lam Research CMP 设备的摇臂阀接口板。该板子用于连接摇臂阀和 CMP 设备的控制器。
功能：
- 连接摇臂阀和 CMP 设备的控制器
- 控制摇臂阀的开关
**参数：
- 电压：24 VDC
- 电流：20 mA
- 工作温度：-20℃ 至 70℃
**规格：
- 尺寸：100 毫米 x 63.5 毫米 x 22.9 毫米
- 重量：0.2 千克
应用范围：
- 半导体制造
适用设备：
- Lam Research CMP 设备
补充说明：
- 810-001489-016 使用螺钉连接到 CMP 设备。
- 该板子具有防护等级 IP20，可防止灰尘和水滴进入。
总体而言，LAM 810-001489-016 是一款功能强大、性能优越的摇臂阀接口板，适用于 Lam Research CMP 设备。
根据您提供的图片，我可以进一步确认以下信息：
- 板子的背面有两个 24 VDC 电源接口。
- 板子上有 16 个数字输出引脚，用于连接摇臂阀。
- 板子上还有一个诊断 LED，用于监控板子的状态。
希望这些信息对您有所帮助。
