Description
ENI GHW-12Z
产品描述：
- 该模块是 ENI GHW 系列射频等离子体发生器的一部分。
- 它设计用于产生射频能量，用于各种工业和科学应用中的等离子体生成。
- 这些应用通常包括半导体制造、薄膜沉积、材料处理和其他需要精确等离子体控制的工艺。
- 通过搜索结果得知，该模块属于MKS Instruments公司产品。因为ENI公司已经被MKS Instruments公司收购。
- 该模块被应用在半导体制造等高科技领域。
产品参数和规格：
根据搜索结果，以下是一些关键参数和规格：
- 类型：射频等离子体发生器
- 制造商：ENI（现为 MKS Instruments）
- 系列：GHW
- 型号：GHW-12Z（GHW-12）
- 频率：13.56 MHz
- 功率：1.25kW
