Description
810-001489-016 LAM 产品说明
810-001489-016 LAM 是一款高效的气体处理设备，特别适用于半导体制造和相关工业领域。该设备可以处理多种类型的气体，包括但不限于氟、氯、氮、二氧化硅等。
产品参数
- 尺寸：1200mm x 800mm x 1800mm
- 重量：400kg
- 连接口径：DN25
- 真空泵速：90L/s
- 处理能力：1000 sccm
产品规格
- 处理气体类型：氟、氯、氮、二氧化硅等
- 运行温度：10°C – 40°C
- 运行湿度：10% – 90% RH
- 最大工作压力：2.5 × 10^-6 torr
- 电源：AC 220V / 50Hz
产品应用
810-001489-016 LAM 可以处理多种类型的气体，包括但不限于以下应用场景：
- 半导体制造
- 干法腐蚀
- 薄膜生长
- 材料表面处理
