Description
810-000839-003 LAM 产品说明，产品参数，产品规格，产品应用
产品说明： 810-000839-003 LAM 是一款高性能的气体分子束蒸发器，可用于制备各种材料的薄膜。该设备采用了最先进的气体分子束技术，能够实现极高的沉积速率和均匀度。此外，该设备还具备多项先进的功能，如智能控制系统、高精度温度控制和自动压力调节等。
产品参数：
- 最大功率：10 kW
- 最大蒸发速率：10 Å/s
- 最大样品尺寸：6 英寸
- 均匀度：±3%
- 压力范围：1E-9 至 1E-5 torr
- 温度范围：常温至 1500°C
产品规格：
- 外形尺寸：1200 mm × 800 mm × 1800 mm
- 电源：三相交流 380V，50 Hz
- 气源：高纯度氢气、氩气、氮气
- 材质：不锈钢
- 控制方式：PLC 控制
产品应用： 810-000839-003 LAM 可广泛应用于半导体、光电子、材料科学等领域。主要用于制备各种高质量的薄膜，如金属薄膜、氮化物薄膜、氧化物薄膜等。该设备还可用于制备纳米材料、量子点等新型材料，具有广泛的应用前景。
