Description
LAM 839-101612-885
根据搜索结果，LAM 839-101612-885 模块与半导体制造设备相关，特别是与 Lam Research（泛林集团）的设备有关。以下是根据搜索结果综合的信息：
产品名称：
- LAM 839-101612-885 静电吸盘（ESC）
产品描述：
- 该模块是半导体制造设备中的一个关键部件，即静电吸盘（Electrostatic Chuck，ESC）。
- 静电吸盘在晶圆加工过程中用于固定晶圆，并通过静电力将其牢固地保持在适当的位置。
- 此模块是Lam Research公司生产的静电吸盘。
- 静电吸盘在半导体蚀刻等工艺中，对晶圆起固定作用。
主要特点：
- 静电固定：
- 利用静电力固定晶圆，确保加工过程中的稳定性。
- 高精度：
- 设计用于实现精确的晶圆定位和温度控制。
- 半导体制造应用：
- 专为半导体蚀刻和其他相关工艺设计。
- 与LAM Research设备兼容。
