0010-27983

0010-27983AMAT 0010-27983
Abb s-073n alu 3bhb009884r5211
Nvidia h100 pcie
Nvidia h800 pcie
LAM 839-101612-885
LAM 839-101612-887
LAM 719-101612-885
LAM 719-101612-887
PFSA 103B， STU 48 3BSE002487R1
PFSA 103C， STU 42 3BSE002488R1
PFSA 140轧制供应单元3BSE006503R1
PFSA 103E， STU 16区3BSE016268R1
PFSA 103D， STU 32面积3BSE002489R1
PFSA 147A服务面板3BSE008884R1
电源滤波器3BSE008843R1
PFTL 101AE-2.0kN，称重传感器3BSE004213R1
PFTL 101A-0.5kN，称重传感器3BSE004160R1
PFTL 101A-1.0kN，称重传感器3BSE004166R1
PFTL 101B-2.0kN，称重传感器3BSE004185R1
PFTL 101A-2.0kN，称重传感器3BSE004172R1

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Description

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该加热器是半导体制造设备中的一个关键部件，主要用于控制晶圆的温度。它通常安装在晶圆卡盘 (E-CHUCK) 上，通过精确控制温度来保证刻蚀、沉积等工艺的稳定性和均匀性。

由于半导体制造工艺的特殊性，对温度控制的精度和均匀性要求非常高，因此这种加热器通常具有以下特点：

  • 精确的温度控制： 能够精确控制晶圆的温度，以满足工艺要求。
  • 温度均匀性： 保证晶圆表面温度的均匀性，以提高产品质量。
  • 快速响应： 能够快速响应温度变化，以适应工艺的动态需求。
  • 高可靠性： 能够在恶劣的工业环境下稳定工作。

产品参数

由于应用材料公司的产品型号众多，参数配置复杂，建议您联系应用材料公司或其授权代理商，以获取更详细的产品信息和技术支持。您也可以访问应用材料公司官方网站，查阅相关产品手册。

通常，这种加热器的参数包括以下方面：

  • 型号： 0010-27983
  • 类型： 300mm MCA E-CHUCK ESC 加热器

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