Description
MKS RPS AX7695
MKS RPS AX7695 模块是一款由MKS Instruments公司生产的高性能远程等离子体源。它广泛应用于半导体制造、平板显示器制造等领域，用于对晶圆等材料进行表面处理。
产品名称及型号
- 产品名称: MKS R*evolution III Remote Plasma Source
- 型号: AX7695
产品描述
AX7695 模块是一种集成式远程等离子体源，能够在晶圆表面产生高密度、均匀的等离子体。它被设计用于在不接触晶圆的情况下进行等离子体处理，从而避免对晶圆造成机械损伤。
产品参数（部分）
- 等离子体类型: 高密度等离子体
- 应用: 半导体制造，平板显示器制造
- 冷却: 水冷
- 控制接口: 数字控制
- 气体类型: 可处理多种气体，包括惰性气体和反应性气体
产品特点
- 高密度等离子体: 提供高密度等离子体，增强处理效果。
- 均匀性好: 等离子体分布均匀，保证处理的一致性。
- 远程处理: 不接触晶圆，避免损伤。
- 灵活配置: 可根据不同工艺需求进行配置。
