Description
LEYBOLD SV40BI 产品详解
产品概述
莱宝 SV40BI 是一款由德国莱宝真空技术公司生产的旋片式真空泵。它属于干式真空泵的一种,主要用于抽取气体,在半导体制造、真空镀膜、分析仪器等领域有着广泛的应用。
产品名称及含义
- LEYBOLD: 莱宝真空,德国的一家知名真空技术公司。
- SV40BI:
- SV: 旋片真空泵的缩写。
- 40: 可能代表泵的口径或流量。
- BI: 可能代表泵的具体型号或配置。
-
产品功能
- 抽气: 抽取真空腔内的气体,降低腔内压力。
- 排气: 将抽出的气体排放到大气中。
产品特点
- 干式运行: 无需润滑油,减少污染,延长使用寿命。
- 高可靠性: 设计紧凑,结构简单,运行稳定。
- 低噪音: 运行噪音较低,适合于洁净环境。
- 易于维护: 结构简单,维护方便。
产品参数(典型值,具体参数请参考官方资料)
- 极限真空度: …Pa
- 抽速: …m³/h
- 输入功率: …W
- 噪音水平: …dB(A)
- 工作温度: …℃
- 防护等级: …
产品规格
- 符合相关工业标准
- 安装方式: 底座安装或法兰安装
- 尺寸: …
典型应用
- 半导体制造: 用于抽取真空腔内的气体,为半导体器件的制造提供真空环境。
- 真空镀膜: 用于抽取镀膜腔内的气体,为薄膜的沉积提供真空环境。
- 分析仪器: 用于抽取样品室内的气体,为分析仪器提供真空环境。
注意事项
- 产品选型: 选择合适的型号需要根据系统的抽气速率、极限真空度和工作环境进行综合考虑。
- 安装: 安装时应严格按照说明书进行,并注意接地保护。
- 维护: 定期检查真空泵的运行状态,更换滤网和密封件。