Description
810-001489-016 LAM 产品说明
810-001489-016 LAM （Low-Aspect Ratio Mask，低纵横比掩模）是一种用于微电子制造中的掩模。LAM 采用高精度的光刻技术，可用于制造集成电路、微机电系统、纳米技术等多个领域。
产品参数
- 掩模尺寸: 6″ x 6″ (152 mm x 152 mm)
- 最小线宽: 0.5 μm
- 线宽偏差: ±0.05 μm
- 最小线距: 0.5 μm
- 线距偏差: ±0.05 μm
- 掩膜材料: 石英玻璃
产品规格
- 兼容性: 可用于多种光刻设备
- 稳定性: 长期使用不会失效
- 耐用性: 可重复使用多次
- 孔洞密度: 100%
产品应用
810-001489-016 LAM 掩模适用于以下领域：
- 集成电路制造
- 微机电系统（MEMS）制造
- 纳米技术
- 生物芯片制造
